N.C.S.R. "Demokritos"

Έρευνα

Τομέας Επιστήμης Υλικών

small logo

Εργαστήριο Επιταξίας και Ανάλυσης Επιφανειών

Υπεύθυνος: Α. Δημουλάς

Το εργαστήριο επιταξίας και ανάλυσης επιφανειών έχει στόχο την παρασκευή και μελέτη οξειδίων των μετάλλων υψηλής διηλεκτρικής σταθεράς κ (high-κ) σε υποστρώματα ημιαγωγών για εφαρμογές στη νανοηλεκτρονική. Η εγκατάσταση επιταξίας οξειδίων με μοριακές δέσμες (ΜΒΕ) που είναι μοναδική στην Ελλάδα λειτουργεί από το έτος 2000 ενώ από το 2008 επεκτάθηκε και ενισχύθηκε σημαντικά με σύστημα φασματοσκοπίας φωτοηλεκτρονίων ακτίνων Χ (XPS) και υπεριώδους φάσματος (UPS) καθώς επίσης και με φασματοσκοπία σκέδασης ιόντων χαμηλής ενέργειας (LEISS) πού επιτρέπουν την επί τόπου (in-situ) ανάλυση των (δι)επιφανειών. Το εργαστήριο διαθέτει επίσης συστήματα μέτρησης της ηλεκτρικής χωρητικότητας και της αγωγιμότητας διατάξεων μετάλλου-μονωτή-ημιαγωγού (MIS) κυρίως για την μελέτη της διηλεκτρικής σταθεράς. Η ερευνητική ομάδα του εργαστηρίου έχει αναλάβει πρωταγωνιστικό ρόλο στη χρηματοδοτούμενη Ευρωπαική έρευνα αφού ηγείται μεγάλων κοινοπραξιών που αποτελούνται από την αφρόκρεμα της βιομηχανίας όπως η STMicroelectronics, IBM-Zurich, Philips /NXP, AIXTRON, RIBER καθώς επίσης και μεγάλα φημισμένα εργαστήρια (IMEC, CEA-LETI , Max-Planck Institute και EPFL). Τέλος, το εργαστήριο πρωτοστατεί στην προσπάθεια παγκοσμίως για την ανάπτυξη βιώσιμης τεχνολογίας MOS Γερμανίου, με προσκεκλημένες ομιλίες, οργανώσεις συνεδρίων, συνεντεύξεις, εκδοτικές κ.α. δραστηριότητες. Λεπτομερής περιγραφή των δραστηριοτήτων υπάρχει στην ιστοσελίδα του εργαστηρίου: http://www.ims.demokritos.gr/MBE_LAB

Δραστηριότητες

Προσωπικό

NameProfessionRoleEmail addressTelephone
Αθανάσιος ΔημουλάςΦυσικόςΕρευνητής Αdimoulas@ims.demokritos.gr210 6503340
Γεράσιμος ΠαναγιωτάτοςΕξωτερικός Επιστημονικός Συνεργάτηςypanayiotatos@ims.demokritos.gr210 6503341
Σιγιάβα Αμιναλραγιά ΓιαμινίΗλεκτρονικός, ΤΕΕΥποψήφιος Διδάκτοραςsagiamini@ims.demokritos.gr+ 30 210 6503325
Ευάγγελος Γκόλιας ΦυσικόςΥποψήφιος Διδάκτοραςvgolias@ims.demokritos.gr210 6503341
Χοσέ Μάρκεθ ΒελάσκοΦυσικόςΥποψήφιος Διδάκτοραςjmvelasco@ims.demokritos.gr+ 30 210 6503394
Τομέας Επιστήμης Υλικών, Ε.Κ.Ε.Φ.Ε. "Δημόκριτος", 153 10 Αγ. Παρασκευή, Αττική, τηλ.: +30 2106503381, fax: +30 210 6519430
Contact Us | ©2008 Institute of Materials Science, N.C.S.R. "Demokritos"